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基于模拟仿真技术的半导体材料制备工艺优化及设备改造服务

发布时间： 2023-12-08 浏览量：26

交易方式：面议
联系电话：0451-84010483
单位名称或姓名：陈丽秋
产业领域：新材料
成果类型：

项目基本情况Basic information of the project

项目主要是运用仿真模拟技术对企业现有的半导体设备进行生产工艺优化及设备设计改造，以帮助企业完成产业升级及新设备制造。项目完成时，在半导体硅材料方面，可以实现质量、产量、杂质、缺陷、良率等关键参数指标5%-25%不同幅度的优化结果，模拟精度保守在97%以上，部分情况下模拟与实际误差可控制在1%以内，为企业节省亿元成本。在第三代半导体碳化硅单晶制备方面，依托技术成果，成功设计搭建6-8英寸碳化硅晶体生长炉和2-4英寸氮化铝单晶生长炉，成功突破国外技术封锁，设备得到国际半导体产业协会（SEMI）认证。项目团队与合作团队及企业联合研发迭代优化，获得用于多种半导体材料（晶体硅、碳化硅等）制备工艺模拟工具和针对性优化方案，包括西门子法多晶硅工艺优化和设备改造；提拉法生长单晶硅的工艺优化和设备改造；物理气相输送法和化学气相沉积法半导体晶体材料制备工艺优化和设备改造；LED芯片结构模拟；开发新的电子级多晶硅还原炉等，精度误差不超过3%。主要技术成果可发表文章1-2篇，申请发明专利5-6项。经济效益执行期内销售收入达800万元，净利润达120万元，企业资产规模1500万元，直接和间接拉动就业超过50人。

管理团队与技术团队Management team and technical team

哈尔滨化兴软控科技有限公司

效益分析Benefit analysis

该项目为储备库项目资源，暂无效益分析内容。

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