为防止危险品在生产、运输、存储、使用过程中发生泄漏、丢失和爆炸等造成的危害，各国制订了相应的法规。如美国《危险化学品事故预防条例》、欧盟《萨维索指令Ⅱ》、中国安监局下发了《关于开展危险化学品安全管理专项整治工作的通知》。本项目产品危化品检测 MEMS传感器主要应用于危化品安全监控，用以实现早期预警和事后态势发展监测，为救援提供信息支持。 ⑴产品应用领域：石油、化工、燃气、能源、煤矿、制药等领域，用以检测易燃易爆危化品在生产、存储、运输、使用四大环节泄露安全信息，为避免爆炸及火灾提供信息支持。⑵产品功能指标：实现对易燃易爆危化品泄露量的多少进行定量检测，可给出0-100%LEL范围内的浓度精确值，精度在±2%FS，响应时间小于15s。环境条件适应温度环境-30～50℃、湿度环境：0～98%RH；危险环境为防护等级IP52。 ⑶项目创新点：①.提出利用电化学原位生长Al2O3陶瓷膜制作危化品检测传感器结构体的微加工制造方法。采用Al2O3陶瓷膜微加工方法制造出的结构体具有超薄性和高强度特点，易于复合催化剂和铂敏感电极材料结合，高温抑制变形性十分突出，导致传感器的零点稳定性好。②.利用膜板技术，设计并制造出纳米管式Pt-Pd-Th复合催化剂，利用纳米管式Pt-Pd-Th催化剂掺杂大大提高了传感器灵敏度，同时有效的降低了传感器的工作温度，降低了功耗。③.提出"双绞线"型敏感电极结构，提高了传感器的抗电磁干扰性能，解决了传统Pt丝线圈结构对电磁场干扰反应的敏感性，拓展了应用的电磁恶劣环境。④.提出并验证了利用Al2O3陶瓷膜制作传感器强制换气冷热泵的微加工制造方法。改变了传统传感器气室内气流不畅导致被测气体产生耗尽区域情况，迫使被测气体在传感器气室内形成了气体环流，从而保证了传感器周围被测气流动舒畅，提高了传感器的线性度和使用寿命。

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