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硅压阻压力敏感芯体

发布时间： 2023-12-08 浏览量：17

交易方式：面议
联系电话：18845026607
单位名称或姓名：张伟岩
产业领域：生物经济
成果类型：

项目基本情况Basic information of the project

硅压阻式压力传感器主要原理是压阻效应，利用半导体工艺及微机械加工技术制作其核心部件压力敏感芯片，压力敏感芯体在结构上是将压力敏感芯片粘贴并密封在不锈钢壳体内，采用316L不锈钢膜片与被测介质隔离，内充硅油传递压力，当压力作用在金属波纹膜片上时，通过硅油使压力敏感芯片感受压力产生电信号，该信号经过了零点偏移补偿，零点温度补偿和灵敏度温度补偿后，输出毫伏级信号，实现压力-电信号的转换，同时中国电科49所已搭建完备的硅压阻压力敏感芯体生产工艺技术平台，研制产品具有体积小、测量精度高、工作稳定可靠等特点。

管理团队与技术团队Management team and technical team

中国电子科技集团公司第四十九研究所

效益分析Benefit analysis

该项目为储备库项目资源，暂无效益分析内容。

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