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陶瓷基MEMS多效应全量程气体传感器

发布时间： 2023-12-08 浏览量：33

交易方式：面议
联系电话：19917629677
单位名称或姓名：张洪泉
产业领域：数字经济
成果类型：

项目基本情况Basic information of the project

研制的陶瓷基MEMS多效应全量程气体传感器，采用先进原位生长氧化铝陶瓷MEMS技术，实现传感器芯片定向纳米孔通透式阵列结构，形成催化敏感单元的二次燃烧反应，提高反应效率，有效提高传感器灵敏度；定向纳米孔通透式阵列结构有助于疏通气体反应路径，提高传感器的响应时间特性；热导敏感单元利用石墨烯的导热系数大和碳化硅黑体特性，修饰Al2O3陶瓷骨架，形成自黑体，有效抑制辐射散热，加速的气体热对流效率，响应速度加快，提升导敏感单元灵敏度。该相关技术在哈尔滨佳云科技有限公司、哈尔滨佳启科技开发有限公司、山东东朋自控仪表有限公司等单位相关产品上应用，取得了良好的效果。对提高我国高端气体传感器的自主研发能力和技术水平，更好的服务于石油、化工、冶金、矿山、城市能源等领域的可燃性气体安全监测与安全管理，起到积极的推动作用。

管理团队与技术团队Management team and technical team

哈尔滨工程大学

效益分析Benefit analysis

该项目为储备库项目资源，暂无效益分析内容。

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