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陶瓷MEMS传感器

发布时间： 2023-12-08 浏览量：28

交易方式：面议
联系电话：15846570708
单位名称或姓名：张洪泉
产业领域：数字经济
成果类型：

项目基本情况Basic information of the project

在电力、冶金、石油、化工等行业，需要大量的传感器作为信息监测部件，传统硅MEMS传感器的耐腐蚀、抗污染性能较弱，难以满足应用环境恶劣的工程需求。陶瓷MEMS传感器具有耐高温、抗腐蚀特点，成为当下国际研究热点，同时成为恶劣环境应用的最佳产品解决方案该成果属于信息领域，用于检测环境气体含量浓度信息、工业装备的重要部位的温度、压力信息，传感器主体采用微电子技术实现传感器的制造生产。本科技成果是一种气体传感器制造方法和一种温度及压力传感器制造方法，气体传感器检测限较窄、响应时间慢、耐腐蚀问题。温度及压力传感器实现了单片集成，具有双功能特征，提高了传感器芯片的集成化水平，使传感器的工作可靠性得以大幅度提高。技术度8级。已完成了科技成果的实际产品设计制造，制造样件经过了实验室的性能测试，并模拟实际应用环境，开展了应用验证，通过了验证级实验考核。该成果可应用与水力发电、火力发电、风力发电、核能发电等领域，也可以应用轮船、火车、汽车等交通领域，对应用环境中的泄露危险气体实施检测监测，对重点部位实施温度压力信息检测。

管理团队与技术团队Management team and technical team

哈尔滨工程大学

效益分析Benefit analysis

该项目为储备库项目资源，暂无效益分析内容。

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