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抗非均匀反射扰动复色差动超分辨共焦显微传感机理研究

发布时间： 2023-12-08 浏览量：24

交易方式：面议
联系电话：451-86414461
单位名称或姓名：陈毅恒
产业领域：
成果类型：

项目基本情况Basic information of the project

该课题为国家自然科学基金青年项目课题，旨在探索适用于不同材料基底、混合材料、掺杂结构以及曲面浮雕结构的微米及亚微米尺度大台阶元件三维结构几何参数测量的新型传感机理，项目成果可服务于我国精密及超精密制造领域的微尺度计量与量值溯源，并为开发具有自主知识产权的国产高端测量装备提供理论基础和关键技术。研究工作揭示了抗扰动特性与线性区间扩展和高灵敏度响应特性的关系，描述了复色照明线性范围与高灵敏度响应特性耦合机理，理论证明了全局最小化旁瓣抑制滤波器设计的充分必要条件，给出了差动共焦台阶扫描探测边缘位置判据。所提出的传感方法得到理论和实验验证。实验结果在等价表面反射率跳变50%情况下，测量信号幅度仅变化4.1%，噪声扰动得到有效抑制；轴向有效位置分辨率达到1nm，横向边缘判定比较误差小于0.1μm；在复色照明情况下实现量程扩展2 倍。研究成果在兵器集团211 所红外探测器阵列生产的实验室检测中得到初步试用，解决了红外焦平面探测器生产过程中基底阵列尺寸检测难题，为实现高端电子探测器产品自主可控生产提供了重要测量技术及理论。该项研究成果，在2009年，获得于俄罗斯圣彼得堡举办的国际测量仪器委员会年会会议最佳论文奖，但截至目前没有申报任何政府组织的科技成果奖。

管理团队与技术团队Management team and technical team

哈尔滨工业大学

效益分析Benefit analysis

该项目为储备库项目资源，暂无效益分析内容。

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