超精密运动平台机械谐振的抑制方法，属于运动平台机械谐振的抑制领域。为了解决目前的超精密运动平台的机械谐振抑制效果差的问题。包括：根据运动平台的宏微耦合力学模型，建立六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型；采用自适应实数编码遗传算法辨识出建立的宏微耦合模型的未知参数，进而分别建立宏动台和微动台的机械谐振模型，再采用自适应实数编码遗传算法辨识出机械谐振模型中未知参数，获得宏动台的4个机械谐振模型和微动台的2个机械谐振模型；进而获得宏动台的4个陷波器和微动台的2个陷波器；将宏动台的4个陷波器和宏动台串联，将微动台的2个陷波器和微动台串联，完成宏动台和微动台机械谐振的抑制。它用于抑制运动平台机械谐振。光刻机是一个涉及精密机械、精密控制、精密测量等多学科的机电一体化的高端精密制造装各，其发展受到光学性能、电机性能、测量分辨率，机械加工能力、控制系统性能等各种条件的制约，设计能够保证光刻机高速高精度的控制器是提升光刻机性能的关键。分析了精密运动平台的结构，并建立了直线电机和音圈电机的数学模型，进而建立了单白由度宏微耦合运动模型和六自由度力学模型，能够反映多个电机共同作用下的运动特性。理论模型的建立为模型辨识奠定了基础。超精密运动平台机械谐振的抑制方法，属于运动平台机械谐振的抑制领域。为了解决目前的超精密运动平台的机械谐振抑制效果差的问题。包括：根据运动平台的宏微耦合力学模型，建立六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型；采用自适应实数编码遗传算法辨识出建立的宏微耦合模型的未知参数，进而分别建立宏动台和微动台的机械谐振模型，再采用自适应实数编码遗传算法辨识出机械谐振模型中未知参数，获得宏动台的4个机械谐振模型和微动台的2个机械谐振模型；进而获得宏动台的4个陷波器和微动台的2个陷波器；将宏动台的4个陷波器和宏动台串联，将微动台的2个陷波器和微动台串联，完成宏动台和微动台机械谐振的抑制。它用于抑制运动平台机械谐振。目前已应用于超精密多自由度运动台领域。超精密运动平台机械谐振的抑制方法，属于运动平台机械谐振的抑制领域，可解决目前的超精密运动平台的机械谐振抑制效果差的问题。

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