（1）课题来源于背景 课题来源单位是哈尔滨佳启科技开发有限公司，课题名称：基于MEMS技术的高性能催化燃烧式气体传感器研发。 （2）研究目的 危险化学品从生产、仓储、运输到使用全过程中一直存在着危害风险，当危险化学品造成危害时，其损失的经济损失，人员伤害是不可估计的。本课题研究的目的主要是应用在开发和建设危化品泄露探测检测系统，实现可用于危险化学品从生产、仓储、运输到使用全过程的远程跟踪和监测的低功耗MEMS危化品传感器。一旦危险化学品有危险或者可能引起危险的事故发生，这套系统可以实时探测到全方面的情况，包括泄露目标、泄露等级、泄露地点、泄露时间等。 （3）主要论点和论据及创新点 ① 提出了电化学原位生长Al2O3膜状材料制作催化传感器芯片方法，研发了三明治微结构敏感单元，制造出定向纳米管阵列催化载体，解决了传感器快速响应和方向性等问题； ② 研发了催化敏感单元及补偿单元集成的催化气体传感器芯片，提出冷热泵片结构，实现了硅基催化传感器的集成和气室内强制换气； ③ 提出超薄Al2O3陶瓷作为传感器敏感单元基底，利用激光切割技术和离子束刻蚀技术，解决了传感器一致性问题。 （4）社会经济效益以及存在的问题 目前已推广到军事领域，为国防建设做出了一定的贡献。课题研制过程中提出了煤油饱和蒸汽压标定法，解决了煤油传感器的标定问题，提出了癸烷为煤油标志物的建议。其安全检测具有重要的意义，它将为国家的国防安全、环境保护、人民生命财产和安全保障、社会科学技术的发展等发挥极其重要的作用，从而创造重大的社会效益。 MEMS气体传感器为高新技术产品，附加值高，在危化品运输/储存、环境保护、安全监测、石油、化工、冶金等领域有广阔的应用市场，其潜在市场巨大，具有很好的经济效益，对于保证生产运输安全、防止环境污染、减少灾害损失等方面将起着十分重要的作用，具有良好的社会效益。 本课题提出了“气敏元件强制换气冷热泵MEMS制造方法”较好解决了传统催化式气体传感器产生耗尽区域的致命失误，以及造成可燃性气体燃烧不充分的结碳失效等问题，该成果推广到煤矿瓦斯检测传感器的改进上，对提高瓦斯传感器的可靠性水平，减少煤矿灾害有一定得社会效益。 本课题针对传统催化燃烧式气体传感器存在的功耗大、响应时间慢、一致性差、稳定性不高等问题，开展了基于超薄Al2O3薄膜催化气体传感器、硅基MEMS催化气体传感器、纳米管阵列Al2O3 MEMS催化气体传感器系统研究，解决了催化载体用纳米材料合成、微结构设计制造、传感器强制换气等一批关键技术。

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