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共路随机移相干涉成像测量方法与技术

发布时间： 2023-12-08 浏览量：20

交易方式：面议
联系电话：13936649853
单位名称或姓名：胡娅南
产业领域：高端装备
成果类型：

项目基本情况Basic information of the project

干涉成像技术由于具有全场定量、非接触、无需对样品做特殊处理等独特优点，已作为极其重要的测试分析手段被广泛应用于工程物理、微纳制造、生物医学、物理化学、材料科学、半导体测试和精密测量等领域。如何克服现有干涉成像技术的原理性不足，进一步提高抗干扰能力基础上，兼顾其分辨能力、测量效率的研究是目前国内外干涉成像测试领域研究的前沿性热点问题，也为我国研究和发展此类高端技术提供了机遇。本项目旨在深入研究解决上述问题的新原理、新方法和新技术，形成具有自主知识产权的共路随机移相干涉成像测量方法与技术，并为具有强抗干扰能力、高分辨力、高效率的干涉成像测量仪的研究提供理论基础和技术储备。具体包括：创新点：（1）提出了一种基于随机移相的共路干涉成像测量方法与技术；（2）建立了基于偏振光矩阵理论的随机移相干涉成像再现理论模型；（3）研究了基于图形处理单元技术的干涉成像再现加速方法与技术。解决的技术瓶颈：在保证系统抗干扰能力基础上，兼顾干涉成像测量技术的空间分辨能力、时间分辨能力和相机有效视场利用率。本项目掌握了共路随机移相干涉成像设计理论和测量相关关键技术；获得了干涉成像测量的自主知识产权，构建了原理样机，其技术指标：参考光与物光共光路，分辨力优于10nm，重复性均方根误差优于20nm；研究的相关成果已授权发明专利12项，并申报了发明专利5项；发表EI检索文章11篇，并有9篇被SCI检索；参与项目的博士研究生为2名，硕士研究生4名；同时，本项目研究的相关成果得到了中国建筑材料研究院相关专家的认可，目前正在和我方探讨玻璃形貌高精度检测的可能性。上述情况进一步说明本项目取得的成果已具备了很好的推广应用前景。

管理团队与技术团队Management team and technical team

哈尔滨工程大学

效益分析Benefit analysis

该项目为储备库项目资源，暂无效益分析内容。

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