项目基本情况Basic information of the project
本项目来源于科技部重点研发计划精密制造中的补偿和测量关键技术研究项目,课题名称自支撑薄膜厚度计量标准装置,旨在发展一种非接触、高精度、可溯源的微膜测试方法,攻克自支撑薄膜绝对厚度测试关键技术及其标准与溯源方法,构建薄膜测试装置及其计量标准,以满足微电子半导体、新能源及精密机械等先进制造的溯源和科研需求。项目基于宽谱光源和稳频激光双波段光学测试方法,开展了光纤干涉共光路自校准微膜厚度测量方法,攻克攻克薄膜光学绝对测试关键技术、测量误差抑制方法与溯源技术,研制出高精度、大动态范围、自校准薄膜计量测试装置,实现了10-600微米厚度测试范围、(0.5+0.03H)微米测量不确定度的自支撑薄膜厚度测量。
管理团队与技术团队Management team and technical team
哈尔滨工程大学
效益分析Benefit analysis
该项目为储备库项目资源,暂无效益分析内容。