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放电等离子体13.5nm极紫外光刻光源

发布时间： 2025-03-14 浏览量：9

交易方式：
联系电话：0451-51920922
单位名称或姓名：黑龙江省科技成果转化中心
产业领域：
成果类型：

项目基本情况Basic information of the project

由于西方国家的技术封锁，光刻机装备的研制成为我国亟待解决的“卡脖子”问题，其中极紫外光刻机的研制，是推动我国集成电路制造技术长远发展的关键，而13.5nm 极紫外光刻光源是极紫外光刻机系统中的重要组成部分，但目前我国国内仍然没有可商业化的极紫外光刻光源，可以预见在未来的5-10年内，随着国内极紫外光刻产业的崛起，对光刻光源的需求将大大增加。这其中包括极紫外光刻系统中集成光源的需求，以及极紫外光刻周边产品(如掩膜版、极紫外光刻胶、极紫外光学元件、极紫外探测器等)对极紫外检测光源的需求，相比于其他机制的极紫外光源，放电等离子体极紫外光刻光源特别适合作为极紫外检测光源，此外由于其建造成本更低，且本团队已于国内率先实现了初步样机的搭建，获得了13.5nm 光谱，完成了整个开发过程中最为关键的实验验证工作，是目前各种机制中最有希望首先实现商业化、产业化的极紫外光刻光源。

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