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光刻机用高精密功率放大器

发布时间： 2025-03-14 浏览量：12

交易方式：
联系电话：0451-51920922
单位名称或姓名：黑龙江省科技成果转化中心
产业领域：
成果类型：

项目基本情况Basic information of the project

团队长期从事光刻机领域的超精密功率放大器的研制工作，研发的高精密功率放大器，峰值功率从100w—30kw 的系列化超精密驱动器，PA 的电流精度0 .003%, 峰值功率30kw, 电流噪声30uA,成功应用在国产28nm、65nm、90nm 的多种前道光刻机平台，并为上海微电子、华为技术有限公司等光刻机头部企业批量供货，已完成百台套小样机的测试验证。同时积极拓展光刻机后道用精密功率放大器，并形成小批量工程样机，实现了对 ASML、尼康、佳能公司用的精密PA 产品的全面国产化替代，实现了对国产光刻机领域精密功率放大器的垄断。该产品除了适用于光刻机场合，也适用于高精度机床、液晶面板装备等领域，按照目前的行业估算，产品具有上亿的市场规模。

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