项目基本情况Basic information of the project
MEMS 传感器是基于微机电系统的传感器件,集成 了微电子技术和微机械加工技术等尖端成果,它将感知 信息处理与执行机构相结合,改变了人类感知和控制外 部世界的方式。MEMS 传感器作为获取信息的关键器 件,对各种传感装置的微型化起着巨大的推动作用,已 在太空卫星、运载火箭、航空航天设备、飞机、各种车 辆、生物医学及消费电子产品等领域中得到了广泛的应 用。据YoleDeveloppement 数据显示,2018年全球 MEMS 市场规模116亿美元,预计2024年将增长到180 亿美元。中国是全球MEMS 市场发展最快的地区,中国 市场对于MEMS 器件的需求增速远高于全球MEMS 市场 增速。所研究的芯片可应用于电容式MEMS传感器,特 别是MEMS电容式加速度计、湿度传感器等。
管理团队与技术团队Management team and technical team
哈尔滨工程大学
研究与开发Research and development
数字经济
行业与市场Industry and market
哈尔滨